A Rigaku Corporation, parceira mundial de soluções em sistemas analíticos de raios X e uma empresa do Grupo Rigaku Holdings Corporation (sede: Akishima, Tóquio; diretor executivo: Jun Kawakami; doravante “Rigaku”) iniciou as vendas do XHEMIS (pronúncia “ZEM-mis”) TX-3000, um sistema de fluorescência de raios X de reflexão total (TXRF) que oferece suporteàanálise de contaminação de traços em superfícies de wafer na fabricação de semicondutores.
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Measurement result of surface contaminant distribution
A Rigaku protege a qualidade com a tecnologia TXRF, um campo onde detém uma esmagadora participação de mercado
A análise de traços de contaminantes em superfícies de wafer é vital para fabricação de semicondutores. À medida que as etapas de produção se tornam cada vez mais detalhadas e os padrões de qualidade se tornam cada vez mais rigorosos, este processo desempenha um papel significativo para reduzir taxas de defeitos. Além disto, linhas de fabricação que incorporam centenas de etapas exigem análises precisas de traços de contaminantes em superfícies de wafer para manter a operação estável e a qualidade do produto confiável. Com o TXRF, uma abordagem representativa para este fim, a Rigaku consolidou sua tecnologia como o padrão internacional eficaz. A empresa impulsionou, há muito tempo, a elevação dos padrões de qualidade no setor.
O modelo mais recente da Rigaku, o XHEMIS TX-3000, aperfeiçoa os recursos existentes para oferecer um salto quântico em precisão de medição, operabilidade e produtividade.
Aumento de até 6× na velocidade permite que tarefas de medição que antes levavam uma hora sejam concluídas em 10 minutos
O XHEMIS TX-3000 alcança velocidades de processamento até 6 vezes maiores que as dos sistemas anteriores da Rigaku. Primeiramente, a velocidade de medição é triplicada ao combinar um conjunto ótico recém-desenvolvido com um detector multielemento inovador. A seguir, este sistema combinado é acoplado a uma tecnologia de previsão de espectro baseada em IA para dobrar a velocidade de medição sem sacrificar a precisão. A inovação técnica deste arranjo de dois estágios contribui para o aumento da produtividade e da estabilidade do processo em locais de fabricação de semicondutores. Com nosso modelo anterior, as medições que normalmente levavam uma hora, agora são concluídas em apenas 10 minutos.
Novo design de detector suporta análise de elementos mais leves
O XHEMIS TX-3000 utiliza uma fonte de raios X que pode ser alternada entre três comprimentos de onda, permitindo a análise de elementos mais leves, como sódio, magnésio e alumínio, que são difíceis de detectar com uso de sistemas analíticos de raios X fluorescentes. Deste modo, a distribuição superficial de contaminantes pode ser medida para praticamente todos os elementos sem a destruição da amostra.
Além disto, o XHEMIS TX-3000 combina um monocromador recém-desenvolvido, capaz de irradiar raios X, com um detector multielemento capaz de medir três pontos na superfície do wafer simultaneamente. Ao combinar estes recursos, o XHEMIS TX-3000 triplica a velocidade de medição comparado a sistemas anteriores.
A IA oferece suporte a aplicações expandidas e de alta precisão
Um problema com os sistemas analíticos de raios X fluorescentes é que a redução do tempo de medição tende a degradar a precisão da medição. Para resolver este problema, o XHEMIS TX-3000 adota um software de previsão de espectro treinado com grandes quantidades de dados de análise. Assim, a precisão é mantida mesmo reduzindo o tempo de medição pela metade.
Além disto, um novo recurso reduz o sinal de fundo desnecessário, que expande a gama de aplicações para uma ampla variedade de materiais antes não passíveis de medição de contaminação por traços, como metais de barreira (revestimento protetor para fiação), filmes de alto dielétrico e semicondutores compostos.
Kiyoshi Ogata, vice-presidente executivo sênior, comentou o seguinte:
A Rigaku prevê vendas de cerca de 5 bilhões de ienes para produtos TXRF convencionais em 2025. Com a introdução deste sistema de ponta no mercado, a Rigaku espera que a adoção pelos principais fabricantes de semicondutores avance. A empresa espera que este segmento de produtos apresente crescimento de dois dígitos nos próximos anos, como uma plataforma estável que sustenta o crescimento sustentável do mercado de semicondutores.
Detalhes do sistema
https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/txrf/xhemis-tx-3000?setLang=english
Sobre o Rigaku Group
Desde sua fundação em 1951, os profissionais de engenharia do Rigaku Group se dedicam a beneficiar a sociedade com tecnologias de ponta, incluindo, em particular, seus principais campos de análise térmica e de raios X. Com presença de mercado em mais de 90 países e cerca de 2.000 funcionários em 9 operações internacionais, a Rigaku é parceira de soluções na indústria e em institutos de análise de pesquisa. Nossa taxa de vendas no exterior alcançou cerca de 70%, mantendo uma participação de mercado excepcionalmente alta no Japão. Junto com nossos clientes, continuamos nos desenvolvendo e crescendo. À medida que vêm se ampliando as aplicações de semicondutores, materiais eletrônicos, baterias, meio ambiente, recursos, energia e ciências da vida a outras áreas de alta tecnologia, a Rigaku realiza inovações “para melhorar nosso mundo ao impulsionar novas perspectivas”.
Para mais detalhes, acesse rigaku-holdings.com/english
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Fonte: BUSINESS WIRE
